싸이맥스는 주로 웨이퍼 가공의 전 공정과 측정·계측 공정에 필요한 웨이퍼를 이송하는 설비를 설계 제작하고 있는 웨이퍼 이송설비 전문 기업입니다. 특히 국내 기업으로서는 유일하게 웨이퍼 이송 설비의 핵심인 Robot, LPM(Load Port Module), System의 Hardware 및 전장, 제어에 대한 Software까지 모든 부문에 걸쳐 설계가 가능한 연구개발 조직을 구성하였습니다. (1) Cluster Tool System Cluster Tool System은 반도체 공정 장비(Process Module)와 연결되는 장치이며, EFEM(Equipment Front End Module) 내 대기 로봇이 진공챔버로 웨이퍼를 반송시키면 진공챔버 내 진공로봇이 공정 장비로 웨이퍼를 반송시키는 Tool..