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반도체 부품(SiC Ring, Si Electrode, Si Ring) 관련주 - 티씨케이, 케이엔제이, 하나머트리얼즈

주발이1 2021. 3. 23. 00:10
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SiC Ring(실리콘 카바이드 링)은 반도체 제조 공정 중 웨이퍼가 장비 안에서 움직이지 않도록 고정하는 역할을 하는 부품으로 반도체 Wafer의 공정 시에 Wafer 바깥 자리에 위치하여, Device의 생산 수율을 높여 주는 역할을 하는 Ring입니다. 현재 Wafer의 재질과 동일한 Silicon 소재가 주류를 이루나, Plasma 이온 등에 의한 침식이 빠르게 진행되는 소모성 부품입니다.

이러한 문제점을 근본적으로 해결하기 위하여 Silicon 소재보다 Life Time이 길며, 불순물이 없는 CVD-SiC Ring이 개발되었습니다.

CVD SiC Components

포커스 링(Fous Ring)은 반도체 에칭 장비에서 웨이퍼를 붙잡아두는 역할을 합니다. 웨이퍼보다 조금 큰 크기로 둘레를 감싸는데, SiC Ring 수명은 기존 실리콘 링 보다 1.5배 길고 포커스 링을 교체하려면 공정을 멈추고 에칭 장비 챔버 안을 다시 세정하는 등 손해가 따르기 때문에 수명이 긴 SiC Ring 수요가 늘어나는 추세입니다.

반도체 8대 공정과 실리콘 카바이드 링 관련주


케이엔제이는 2005년 회사 설립 이후 디스플레이 제조용 장비인 Edge Grinder(엣지그라인더)와 검사 장비를 개발 생산해 왔으며, 2010년 신규 사업으로 CVD-SiC(탄화규소) 제품군 분야에 진출한 후 LED 제조용 SiC 코팅 제품 및 반도체 웨이퍼 에칭 공정용 소모품인 SiC Ring 등을 생산/공급해 오고 있습니다.

CVD-SiC 제품은 기존에 주로 사용되던 단결정 Si(실리콘) 소재 기반의 반도체용 부품을 대체하는 제품으로 Si 소재의 단점을 보완하기 위해 CVD (화학기상 증착) 방식으로 Si에 탄소(C)를 결합시켜 생산하게 됩니다. 최근 반도체 제조공정이 고출력 플라스마를 사용함에 따라 특수한 환경에 견딜 수 있는 소재가 주목을 받고 있습니다.

케이엔제이 주요 제품 현황

티씨케이는 반도체, 태양전지 및 LED 용 부품 전문 제조회사입니다. 구체적인 제품으로는 고순도 흑연(Graphite)을 이용한 반도체 및 태양전지용 실리콘 잉곳을 생산하는 Growing 장비용 Graphite 부품(고순도 흑연 제품)을 국내 최초로 국산화하여 제조·판매하고 있으며, 반도체 Device 업체에서 사용하는 장비의 Solid SiC Wafer, Ring 및 SiC 제품도 판매 중에 있습니다. 또한 SiC coating 사업으로 반도체 ALD 장비에 들어가는 Susceptor 류와 LED Chip 생산용 Wafer Carrier를 제조·판매하고 있습니다. 부수적으로 SiN Tube 등 각종 Heater 류를 수입, 판매하고 있습니다.

티씨케이 주요 제품 현황

하나머티리얼즈가 현재 영위하고 있는 주력 사업분야는 반도체의 핵심 제조공정인 에칭(식각) 공정에 사용되는 Silicon 소재의 Electrode, Ring 등 소모성 구조 기능성 부품(Parts)의 제조입니다.

Dry Etching 챔버와 Electode와 Ring 역할

동사는 실리콘 부품 위주의 사업구조에서 사업 및 제품 포트폴리오를 다각화하고자 실리콘 카바이드 사업(SiC)을 신규 사업으로 추진하고 있습니다. 최근 반도체 공정은 수율을 높이기 위해 회로의 미세화가 진행되고 식각에 쓰이는 고에너지 플라즈마를 견딜 수 있는 소재에 대한 요구도 커지고 있습니다. 이에 동사는 플라즈마 환경에 강한 CVD SiC와 GR SiC 사업을 추진하고 있습니다.

SiC Ring은 Silicon Ring과 마찬가지로 반도체 핵심공정인 에칭(식각) 공정에 사용되며, 반도체 공정의 미세화와 Step 수의 증가가 진행될수록 고주파 플라즈마를 견뎌야 하고 공정시간이 길어지고 있어 일부 공정(깊은 Contact를 가공하는 공정 등)에서 SiC Ring의 채용이 늘어날 전망입니다.

 

 

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