SiC Ring(실리콘 카바이드 링)은 반도체 제조 공정 중 웨이퍼가 장비 안에서 움직이지 않도록 고정하는 역할을 하는 부품으로 반도체 Wafer의 공정 시에 Wafer 바깥 자리에 위치하여, Device의 생산 수율을 높여 주는 역할을 하는 Ring입니다. 현재 Wafer의 재질과 동일한 Silicon 소재가 주류를 이루나, Plasma 이온 등에 의한 침식이 빠르게 진행되는 소모성 부품입니다. 이러한 문제점을 근본적으로 해결하기 위하여 Silicon 소재보다 Life Time이 길며, 불순물이 없는 CVD-SiC Ring이 개발되었습니다. 포커스 링(Fous Ring)은 반도체 에칭 장비에서 웨이퍼를 붙잡아두는 역할을 합니다. 웨이퍼보다 조금 큰 크기로 둘레를 감싸는데, SiC Ring 수명은 기존 ..