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반도체·디스플레이 Scrubber, Chiller 장비 관련주 - 유니셈, GST, 에프에스티

jubalry 주발이1 2021. 1. 2. 12:25
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반도체/디스플레이 제조 공정에 사용되고 배출되는 가스들은 유해성 및 폭발성이 강하며, 강한 부식성을 가지고 있습니다. 따라서 이를 적절히 정화해 주지 않을 경우 인체는 물론 환경까지 치명적인 부작용을 유발할 수 있으며, 반도체 제조 공정의 생산성에도 부정적인 영향을 미칠 수 있습니다. Scrubber는 이러한 공정상 배출되는 가스들을 정화하는 장비로써, 반도체 시장 초기에는 주로 생산공장 옥탑에 Scrubber를 설치하여 배출가스들은 정화하였으며, 이후 수(水) 처리를 통하여 유해가스를 정화시키는 Wet 방식과 화학약제를 이용한 Dry 방식이 개발되었습니다. 이후 1990년대 중반 독일의 DAS 및 Centrotherm 社에서 개발한 Burn Wet 방식은 이전 Scrubber가 가지고 있었던 배출가스처리의 어려움과 유지 보수 비용이라는 두 가지 문제를 동시에 해결함에 따라 1990년대 말부터 가장 많이 사용되는 Scrubber 방식이 되었습니다. 하지만 Burn-Wet 방식은 수소나 천연가스(LNG)를 연료로 사용하여야 하며, 2차 부산물 배출 등의 문제점이 있어 2000년대 초반 이후 Plasma 공정기술을 응용한 플라스마 방식의 Scrubber를 개발하였으며, 2000년대 중반 이후, 점차 활성화되고 있는 추세입니다.

 

Chiller는 반도체/디스플레이 제조공정에서 발생하는 열을 제어하여 공정의 효율을 개선할 수 있도록 도와주는 장비로써, 챔버 내의 웨이퍼나 주변 온도를 일정하게 유지할 수 있도록 온도의 정밀제어기술이 중요한 장비입니다.

Chiller는 냉동기를 이용하는 냉동기식 Chiller, 펠티어소자를 이용하는 전기식 Chiller 그리고 저온수를이용하는 열교환기로 구분할 수 있습니다.

 

냉동기식 Chiller는 가장 광범위하게 사용되는 제품으로 광범위한 대역대의 온도 제어가 쉽고 모든 영역에서 최소 소비 전력으로 장비의 가동이 가능합니다. 반면, 전기식 Chiller는 냉동기식 대비 크기의 소형화, 높은 에너지 효율과 제어 반응속도가 향상된 제품으로, 반도체 식각 공정용으로 공급되고 있습니다. 냉동기식 Chiller 및 열교환기는 AMOLED 주요 공정에 사용되고 있습니다. 반도체 공정의 미세화 및 고도화에 따라 기존 냉동기식 Chiller에서 온도 응답성 및 제어성이 우수한 전기식 Chiller로 점차 수요가 옮겨갈 것으로 전망하고 있습니다.


유니셈은 반도체 및 디스플레이 생산 공정에서 발생하는 유해가스 처리 장비인 스크러버 (Scrubber)와 온도 조절 장비 칠러 (Chiller) 전문 기업으로 삼성전자, SK하이닉스, LG디스플레이, BOE 등 국내외 대표적인 반도체 및 디스플레이 업체들에 장비를 공급하고 있습니다. 4Q20에는 삼성전자가 평택 P2 공장을 확충하고 SK하이닉스도 이천 M16 공장의 연내 완공을 목표로 하고 있어 스크러버 및 칠러 수요가 크게 발생할 것으로 예상되고 있습니다.

유니셈 주요 제품 현황

GST(글로벌 스탠다드 테크놀로지)는 반도체 및 디스플레이 등의 제조 공정에서 사용 후 배출되는 유해가스를 정화하는 가스정화장비인 Scrubber와, 반도체 및 디스플레이 공정상 안정적인 온도를 유지하여 공정 효율을 개선하는 온도조절 장비인 Chiller를 제조하고 있으며, 디스플레이 제조공정에서 발생되는 Acid 및 VOC(휘발성 유기화합물) 가스를 처리하여 작업환경 개선을 통한 업무 효율을 증대시켜주는 VOC농축장비 제조를 주요 사업으로 영위하고 있습니다.

GST 주요 제품 현황

에프에스티(FST)는 포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)과 반도체 공정 중 주로 Etching 식각공정에서 Process Chamber 내의 온도 조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비인 칠러(Chiller)를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문 업체입니다.

반도체용 펠리클이란 마스크(Mask)와 레티클(Reticle) 표면을 대기 중 분자나 다른 형태의 오염으로부터 보호해 주는 박막입니다. 막은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 레티클 위에 단단히 부착됩니다.

Chiller란 반도체 식각공정에서 과도한 열의 발생에 의해 Chamber 내의 Wafer나 주변 온도를 일정하게 유지함으로써 공정 효율을 개선하는 장비입니다.

에프에스티 주요 제품 현황

 


정리를 하자면,

포토공정으로 원하는 회로를 그렸습니다. 그러면 다음 순서는 원하는 회로만 남기고 불필요한 부분을 없애는 작업을 하는데 이것이 식각공정이고 식각공정 후 얇은 막(박막)을 씌우는데 이것을 증착공정이라고 합니다.

이 식각공정에서 적절한 온도를 유지하는 온도조절장비가 Chiller.

식각 및 증착공정에서 발생하는 유해가스를 정화는 장비가 Scrubber입니다.

그리고

이 장비를 생산하는 기업은 유니셈, GST, 에프에스티로 정리하면 되겠네요

반도체 8대 공정과 스트로버와 칠러

 

 

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