미코는 다양한 세라믹 소재 전문 기업으로, 세라믹 소재 관련 기술들을 바탕으로 반도체 장비용 세라믹 소재 부품 제작 및 부품 코팅을 위한 Powder, 디스플레이 장비용 Low Electrode 등을 개발, 제조하고 있습니다.
동사는 반도체 및 LCD 장비를 구성하는 부품을 제작하는 부품사업 부문과 반도체 및 디스플레이 장비를 구성하는 부품의 세정과 코팅을 영위하는 세정사업 부문이 있습니다.
미코는 반도체 前 공정용 증착 장비인 CVD 장비용 세라믹 히터, 前 공정용 식각 장비인 Etcher 장비용 ESC (Electro Static Chuck) OLED&LCD 용 ESC (Dry Etcher 장비 내에서 정전력을 통해 패널을 고정시켜 주는 역할) 제품인 하부 전극 등이 그 대표적인 제품들입니다.
또한, AlN (Aluminium nitride), Y2O3 (Yittria) 등 고부가 특수소재를 기반으로 한 세라믹 소재, 부품에 있어서도 독자적인 제작 기술을 보유하고 있음에 따라 세라믹 소재 부품 및 고부가가치 특수소재 제품들의 국산화를 달성해 나아가고 있습니다.
미코가 영위하는 정밀 세정산업(Micro Contamination Control)이란 생산과정에서 발생된 이러한 미세 오염을 제어하는 산업으로 단순히 장비나 부품의 오염을 제거하고 재생하는 것뿐만 아니라 그 사용조건을 만족시키고 사용 수명을 연장하며 나아가 공정 효율과 생산수율의 증가를 목적으로 하는 산업분야를 일컫습니다. 코팅산업의 경우도 반도체, OLED, LCD, Solar 부품의 기능 향상과 모재의 손상 방지, 설비 수명 향상 등을 위한 산업분야입니다. 이에 따라 세정 기술과 코팅기술은 현재 반도체 공정의 일부로 인식 되고 있습니다.
월덱스에서 주력하는 반도체용 Silicon-parts(실리콘 부품)는 주로 반도체 전 공정 중 식각(Etching) 공정에 사용되는 부품으로, 주력 제품은 Electrode(전극)류 (Cathode, GDP;Gas Distribution Plate), GSP(Gas Shower Plate 등)와 Ring 류트입니다.
또한 반도체, 태양광 등의 산업의 부품 소재로 널리 활용되고 있는 Quartz-parts(쿼츠 부품)는 고순도화된 석영유리 섬유 소재를 기반으로 반도체 전 공정의 식각공정 및 Diffusion 공정에서 사용되는 부품이며, 동사에서 주력하는 Quartz-parts는 주로 식각공정에서 사용되는 부품입니다. 생산 부품은 Ring 류(Focus Ring, 2단 Ring), GDP, Bell jar, Cap 류 등이 있습니다.
동사의 파인세라믹 분야는 알루미나(Al2O3)와 실리콘 카바이드(SiC)를 중심으로 반도체 및 LCD, LED 등 분야의 부품에 초점을 맞추고 있습니다. 소재부터 제품까지의 일관생산체제를 갖춤으로써 Silicon-parts를 통하여 확보한 가공 기술 및 거래처를 기반으로 Synergy가 적지 않을 것으로 판단하고 있습니다. 나아가 LED의 기초소재인 사파이어(Sapphire), 고부가 방열 기판으로 주로 활용되는 알루미늄나이트라이드(AlN) 등 신소재 분야에 대한 준비를 통하여 명실상부한 미래형 소재 기업으로 성장할 것입니다.- 신규 사업 내용 및 전망
원익QnC는 반도체 제조공정 중 산화, 확산, 식각, 이온주입, 화학증착공정에서 Wafer를 불순물로부터 보호하거나 이송하는 용기로 사용되는 쿼츠, 비금속 무기재료를 원료로 사용하고, 제조공정에 있어서 고온처리를 받은 생산물로써 반도체/디스플레이 공정에서 내용물을 보호하는 역할을 하는 세라믹스, 200mm 이하의 진공자외선(Vacuum Ultra Violet)을 LCD/OLED Panel 제조공정에서 표면 유기물을 제거하는 역할을 하는 EUV Lamp, 반도체 소재부품 또는 반도체 장비의 오염을 제거하고 재생하는 세정을 영위하고 있습니다.
반도체 부품주를 접하다 보면 가장 많이 나오는 단어가
SiC Ring(실리콘 카바이드 링), Si Ring, 쿼츠, 세라믹스 등입니다.
실리콘 카바이드 링을 만드는 회사가 기술력이 더 좋다고 볼 수 있는데,
이전에 설명한 티씨케이, 케이엔제이, 하나머트리얼즈가 SiC Ring를 제조하고 있는 기업입니다.
그리고
오늘 위에서 본 미코, 월덱스, 원익QnC도 반도체 부품주로 실리콘 링(Si Ring), 쿼츠, 세라믹스 부품을 만드는 기업이고요
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