싸이맥스 - 반도체 이송장비 관련주(EFEM, LPM)

싸이맥스는 주로 웨이퍼 가공의 전 공정과 측정·계측 공정에 필요한 웨이퍼를 이송하는 설비를 설계 제작하고 있는 웨이퍼 이송설비 전문 기업입니다. 특히 국내 기업으로서는 유일하게 웨이퍼 이송 설비의 핵심인 Robot, LPM(Load Port Module), System의 Hardware 및 전장, 제어에 대한 Software까지 모든 부문에 걸쳐 설계가 가능한 연구개발 조직을 구성하였습니다.

Cluster Tool System 개요

 

(1) Cluster Tool System

Cluster Tool System은 반도체 공정 장비(Process Module)와 연결되는 장치이며, EFEM(Equipment Front End Module) 내 대기 로봇이 진공챔버로 웨이퍼를 반송시키면 진공챔버 내 진공로봇이 공정 장비로 웨이퍼를 반송시키는 Tool Automation System입니다. System은 EFEM, LPM, 대기 로봇, Aligner, EFEM Software, Load Lock Chamber, Vacuum Transfer Module 등으로 구성되어 있습니다. 싸이맥스의 Cluster Tool System은 고객의 요구사양에 맞는 맞춤형 System을 구성함으로써 공정 효율성을 극대화하였습니다.

 

(2) EFEM (Equipment Front End Module)

EFEM은 대기(Atmosphere) 상태에서 웨이퍼를 반송하는 이송장치입니다. 구성 Module로는 Load Port Module, ATM Robot, Aligner, EFEM Software 등으로 구성되어 있습니다. EFEM 종류는 Load Port Module의 수량과 대기 로봇의 주행 타입에 따라 구분되며, Load Port Module 수량은 일반적으로 Process Module의 Process time 및 고객 사양에 따라 정해집니다. 그리고 EFEM 내부 고청정도를 유지하기 위해 압류 유지 기능이 적용되어 있습니다. 이는 EFEM 내부 압력이 외기 압력보다 작게 설정되어 외부로부터 Particle(먼지 입자) 유입을 차단하는 기능을 가집니다. 싸이맥스의 EFEM 주요 특징은 SEMI 규정 및 Process Module 간 Interface 표준에 준하여 설계되어 고객의 요구사양에 유연하게 대응할 수 있습니다. 특히, 최근에는 반도체 Wafer 이송을 주로 담당하는 전 공정 EFEM 외에도 FoPLP, TSV(TC Bonder), 검사, 계측 등의 후공정 EFEM까지 영역을 확대하고 있습니다.

 

(3) LPM (Load Port Module)

LPM은 반도체 제조용 웨이퍼를 담아두는 FOUP(Front Opening Universal Pod) 도어(Door)를 열거나 닫으면서 웨이퍼가 반송될 수 있도록 해주는 장치입니다. 구동은 Stage, Door Trans, Z-Axis 동작으로 이루어지며 FOUP 내부에 웨이퍼 정보(개수, 틀어짐, 겹침)를 확인하기 위해서 FOUP 도어를 개방하면서 Mapping을 실시합니다. 동작 반복 정밀도는 0.01mm로 웨이퍼의 미세 틀어짐까지 감지할 수 있습니다. 그리고 Mapping 광량이 저하될 경우 Mapping NG를 최소화하기 위해 광량 자동 보정 기능이 추가되어 성능 향상을 이루었습니다. 또한, 싸이맥스의 LPM은 300mm 공정 용이 기본 사양으로 되어 있지만 200mm와 혼용해서 사용할 수 있는 LPM과 400mm 전용 등 여러 종류의 LPM을 개발하여 판매하고 있으며, FOUP 내부 오염을 방지하는 N2 Purge 타입의 LPM도 신규 개발하여 양산하고 있습니다.

 

싸이맥스 주요 제품 현황 (반도체 사업부문)

싸이맥스가 속한 기업집단(인지컨트롤스)은 「독점규제 및 공정거래에 관한 법률」에 의한 상호출자제한, 출자총액제한, 채무보증제한 대상 기업집단에 해당하지 않으며, 계열회사 간의 상호출자 계통도는 아래와 같습니다.(상장사 기준으로 발췌)

싸잉맥스 계통도

 

싸이맥스의 최대 고객은 삼성전자가 91.5% 지분을 보유하고 있는 세메스입니다.

이 세메스가 Dry Etcher(건식 식각장비) 국산화에 성공했는데, 싸이맥스는 이 Dry Etcher 용 EFEM 전량을 공급 중입니다.

 

수혜가 예상되겠죠

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반도체 이송장비는 식각장비와 관련있습니다.

추후 식각장비 포스팅에서 나오는데, EFEM하고 같이 붙어있다고 생각하세요

아~~

Champer(진공구간)와 Chiller(온도조절 장치)도 연관되어 있습니다.

관려주로는 싸이맥스와 로체시스템즈 두개 뿐이 못 찾았네요

ㅎㅎ

 

반도체 8대공정과 웨이퍼 이송장비